Կլինելիք ստորագրության կիրառությունը սեմիկոնդուկտորների արտադրության մեջ

Կարգավորման ստանդարտների որոշումը կիսահաղորդականների օգտագործման համար

Ծանոթանալ մաքուր թղթի ստանդարտների հետ շատ կարևոր է կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ, քանի որ աղտոտման մակարդակները պահել ցածր է հիմնականում անընդունելի է: ISO դասերի նման ստանդարտները սահմանում են սահմանաչափեր վրա, թե որքան փոշի կամ մասնիկներ կարող են առկա լինել մաքուր թղթում, որն օգտագործվում է այդ շատ զգայուն միջավայրերում: Օրինակ, որոշ արտադրողներ նույնիսկ չեն դիտարկում թուղթը, եթե այն չի համապատասխանում որոշակի մասնիկային շեմերին ստուգումից հետո: Այս ուղեցույցները իրոք ձևավորում են այն, թե ինչ տեսակի մաքուր թուղթ է ընտրվում տարբեր խնդիրների համար ամբողջ արդյունաբերության մեջ: Կազմակերպությունները խիստ հետևում են դրանց ոչ միայն այն բանից խորապես խորացած թերույթների խուսափելու համար, այլ նաև այն բանի համար, որպեսզի իրենց արտադրական գծերը ամենօրյա հարթ կերպով աշխատեն առանց անսպասելի ընդհատումների նյութերի անհաջողություններից:

Մաքուր թղթի ստանդարտների հետևում մեծ տարբերություն է անում կիսահաղորդիչների արտադրության ելքի ցուցանիշներում: Արդյունաբերության փորձառուները հաճախ ընդգծում են, որ այդ կանոնների խստագույն կապանքը գործընթացի արդյունավետությունը բավականին նկատելիորեն բարձրացնում է: Երբ աղտոտման հետ կապված խնդիրները նվազում են, մենք ընդհանրապես ավելի լավ ելք ենք տեսնում, ինչը նշանակում է, որ խորաքարե գծերով անցնող ավելի քիչ թերի չիփեր են առաջանում: Մաքուր թղթի նյութերը, որոնք համապատասխանում են խիստ որակական ստուգումներին, ոչ միայն ցանկալի են, այլ անհրաժեշտ են այդ զգայուն արտադրական միջավայրերը մասնիկներից ազատ պահելու համար, որոնք կարող են ամբողջ շարքեր կործանել: Կիսահաղորդիչների արտադրողները սրան լավ իմանում են տարիներ շարունակ ստանդարտներից ցածր նյութերի պատճառով ծախսարդյունաբեր որակի վերահսկման խնդիրներ լուծելուց հետո:

Կրիտիկալ հատկություններ: Լինտ-ազատ և ցածր մասնիկների գեներացում

Կիսահաղորդիչների արտադրության համար մաքուր թուղթը պետք է իսկապես մանրաթելազուրկ լինի, եթե ցանկանում ենք պահպանել ամբողջ գործընթացի ընթացքում ապրանքի ամբողջականությունը: Սովորական թուղթը թելանման մասնիկներ է արձակում, որոնք կարող են տարաբեր տեղերում հայտնվել արտադրական տարածքներում: Այս փոքրիկ մանրաթելերը իրական խնդիրներ են առաջացնում ապրանքի հուսալիության տեսանկյունից: Երբ արտադրողները թղթից արձակվող մանրաթելերի քանակը նվազեցնում են, նրանք կրճատում են մաքրության սենյակներ թույլատրվող աղտոտող նյութերի քանակը: Սա շատ կարևոր է, քանի որ կիսահաղորդիչների արտադրության համար անհրաժեշտ են ահագն մաքուր պայմաններ: Նույնիսկ միկրոսկոպիկ մասնիկները կարող են ամբողջ չիպերի շարքեր կորցնել, այդ իսկ պատճառով մաքրության սենյակները մաքուր պահելը կարևոր է որակի վերահսկման համար այս ճշգրիտ արդյունաբերության մեջ:

Ցածր մասնիկների առաջացումը կարևոր դեր է խաղում կիսահաղորդիչների արտադրության ընթացքում թերությունների ցուցանիշները կրճատելու գործում: Տարբեր լաբորատորիաների հետազոտությունները ցույց են տվել, որ արտադրողները մաքուր թղթի ապրանքներին անցնելու դեպքում իրականում նվազում է օդում գտնվող մասնիկների քանակը: Սա նշանակում է ընդհանուր թերությունների քանակի նվազում: Տվյալները ևս այս փաստը հաստատում են՝ շատ հաճախ հարթակներ են հաղորդում մաքուր միջավայրի մասին անցումից հետո: Աղտոտման մակարդակները կտրուկ նվազում են, ինչը օգնում է պաշտպանել զգայուն արտադրական սարքավորումները: Մաքուր թուղթը պարզապես ավելի լավ է ապահովում գործարանային հարթակներում անխոչընդոտ աշխատանքը: Կիսահաղորդիչների արտադրության ձեռնարկությունները, որոնք ընդունել են այս մոտեցումները, հաճախ ասում են ավելի բարձր արտադրողականության և մասնիկների հետ կապված խնդիրների պատճառով ավելի քիչ դադարների մասին:

Կաթարանում գործումներ՝ Գրանցում և Նախադասում

100-րդ կասերի Կաթարաններ՝ Համարների Գրանցում Լինտ-Ազատ Թղթերի Վրա

Դասի 100 կարգավիճակ ունեցող մաքուր սենյակները սարքավորումների տվյալները գրանցելիս հետևում են խիստ կանոնների, ինչը հաճախ նշանակում է ապականված թղթի վրա հենվել ավելի ճշգրիտ և համապատասխան արդյունքների համար: Այս ահագին մաքուր տարածքները, հատկապես կարևոր կիսահաղորդիչների գործարաններում, ապականված թղթի կարիք ունեն, քանի որ սովորական թուղթը պարունակում է աղտոտող նյութեր, որոնք խանգարում են զգայուն չափումներին: Փորձը ցույց է տվել, որ մաքուր թղթին անցնելը մեծապես ազդում է մեր հսկողության ճշգրտության վրա, ստեղծելով ավելի լավ ընդհանուր վերահսկում այդ կրիտիկական միջավայրերում: Շատ փորձառու տեխնիկներ ձեզ կխորապայծառ խորան տան, որ գրանցման բոլոր գործողությունների ընթացքում օգտագործեք ապականված թուղթ: Այս պարզ քայլը նվազեցնում է ցանկացած ավելորդ մասնիկների թափանցումը համակարգի մեջ և օգնում է համապատասխանել այդ խիստ Դաս 100 պահանջներին՝ առանց լրացուցիչ դժվարացումների:

Հովանավորման արագության մոնիտորինգ կլեան թվագրության մասնավոր նմուշներով

Բարձր տեխնոլոգիաների արտադրության ընթացքում օդի մաքրության վերահսկումը հաճախ կախված է մի բարձրագույն պարզ բանից՝ մաքուր թղթից, որն օգտագործվում է փոշու հավաքագրման համար: Այս պարզ գործիքը թույլ է տալիս պահպանել մաքրության բարձր մակարդակը սենյակներում, որտեղ արտադրվում են միկրոչիփերը: Երբ այդ թղթերը կիրառվում են, հնարավոր է ճշգրիտ գնահատել միջավայրում առկա աղտոտվածության մակարդակը: Ուսումնասիրությունները ցույց են տվել, որ մաքուր օդի և ցածր փոշու մակարդակի միջև գոյություն ունի ուղղակի կապ: Այս փաստը հաստատված է նաև իրական տվյալներով. մաքրասենյակներում, որտեղ կիրառվում է թղթի ճիշտ նմուշառում, փոշու քանակը կրճատվել է մինչև աննշան մակարդակներ: Արդյունաբերության փորձառուները ցույց են տվել, որ թվում է թե անտեսանելի թվացող թղթի թերթերը իրականում մեծ նշանակություն ունեն զգայուն էլեկտրոնային սարքերի պաշտպանության գործում: Իհարկե, ոչ ոք չի ցանկանա միկրոսկոպիկ փոշիների պատճառով խափանել միլիոնավոր դոլարներ արժեող արտադրական գործընթացները:

Դիսկանների procession փուլերը. Precision Protection

Die-Attach Lines. Clean Paper Separation of Diced Wafers

Դասավորման գործողությունների ընթացքում մաքուր թուղթը կարևոր դեր է խաղում մանրացված սալիկները միմյանցից անջատելու գործում, ինչը կանխում է դրանց վնասվելը կամ աղտոտվելը կեղտով մշակման ընթացքում: Եթե սալիկները ճիշտ ձևով չեն անջատվում, դրանք հեշտությամբ կարող են միմյանց վրա արարդ թողնել կամ բարձրացնել մասնիկներ, որոնք վատացնում են դրանց որակը: Արտադրողները, երբ իրենց սալիկների մշակման գործընթացներում ներառում են մաքուր թուղթ, կտրուկ նվազեցնում են սալիկների միջև ֆիզիկական շփումը և արտադրական գծերում աղտի կուտակումը: Կիսահաղորդիչների արտադրման գործարանները, որտեղ կիրառվում է այս մեթոդը, միշտ ավելի լավ ելք են ապահովում, քանի որ սալիկները պակաս են վնասվում կամ աղտոտվում մշակման ընթացքում: Մաքուր թուղթը պահպանում է սալիկների մաքրությունը արտադրման բոլոր փուլերում, ապահովելով, որ այդ փոքրիկ բաղադրիչները համապատասխանեն ժամանակակից էլեկտրոնիկայի համար անհրաժեշտ բարձր չափանիշներին: Կիսահաղորդիչներ արտադրողների համար, ովքեր նպատակ ունեն առանց թերությունների ապրանքներ մատակարարել, բարձրորակ մաքուր թղթի ներդրումը տեխնիկապես և տնտեսապես իմաստ է ունենում:

CMP Լաբորատորիաները. Slurry մնացորդների ստուգում առանց հատուկ կառավարումի

Մաքուր թուղթը կենտրոնական դեր է խաղում քիմիական մեխանիկական հարթեցման (CMP) լաբորատորիաներում՝ սոսինձի մնացորդները ստուգելիս: Առանց այդ, միշտ կա խաչաձև աղտոտման վտանգը փորձարկման ընթացքում: Լաբորատորիաները մշակել են մաքուր թղթի շուրջ ստանդարտ ընթացակարգեր, քանի որ այն օգնում է ճշգրիտ արդյունքներ ստանալ, ինչպես նաև ամեն ինչ աղտոտիչներից ազատ պահել: Շատ հարթակներ ավելի քիչ խնդիրներ են հաղորդել աղտոտման հետ կապված՝ ստանդարտ մեթոդը համապարփակ կիրառելուց ի վեր: Այն դեպքում, երբ աշխատում ենք կիսահաղորդիչներով, որտեղ որակը շատ կարևոր է, թղթի ճիշտ օգտագործման միջոցով մնացորդների մակարդակները հետևել և կառավարել կարողանալը մեծ տարբերություն է անում: Հենց այդ պատճառով էլ շատ փորձառու տեխնիկներ իրենց ամենօրյա աշխատանքում CMP գործընթացների համար միայն բարձրորակ մաքուր թուղթ են օգտագործում:

Ֆոտոլիթոգրաֆիա և Ռետիկլի hendling

Հազի պահոնքի համար Կислотային չափում չունեցող CLEAN թվողի մակերես

Հակիրճ թղթի օգտագործումը ռետիկլները փաթաթելու համար օգնում է կանխել մառախուղի առաջացումը, որը պահում է լուսամետ աշխատանքների ընթացքում բարձր էքսպոզիցիայի որակը: Այս ռետիկլները իսկապես նուրբ մասեր են, և նույնիսկ մառախուղի ամենափոքր քանակը կարող է խաթարել դրանց աշխատանքը՝ առաջացնելով խնդիրներ նախշերի ստեղծման մեջ արտադրման ընթացքում: Մաքուր թուղթը հանդես է գալիս որպես պաշտպանություն թթուներից, որոնք այլապես կարող էին առաջացնել այդ ցանկալի չեղած մառախուղը: Տեխնիկական բնութագրերի վերլուծությունը ցույց է տալիս, որ այս տեսակի թուղթը լավ է կատարվում կարևոր լուսամետ աշխատանքների համար, քանի որ այն չի փոխազդում գործընթացի ընթացքում օգտագործվող հաճախ հանդիպող քիմիական նյութերի հետ և կանխում է աղտոտողների մոտենալը ռետիկլներին: Իրականում, ուսումնասիրությունները ցույց են տվել, որ այն ընկերությունները, որոնք կիրառում են մաքուր թուղթ, ավելի լավ արդյունքներ են ստանում մառախուղի կուտակման կանխման գործում: Ցանկացած մեկի համար, ով աշխատում է կիսահաղորդիչների հետ, մաքուր օպտիկայի և ճշգրիտ նախշերի պահպանումը պարտադիր է՝ լավ արտադրական արդյունքների համար:

Տարողության մեջ ռետիկլների մուտքի կառավարում

Ռետիկլների պահման ժամանակ խոնավությունը վերահսկելը շատ կարևոր է, իսկ մաքուր թուղթը կարևոր դեր է խաղում նրանց վնասումից պաշտպանելու գործում։ Թուղթը կլանում է ավելորդ խոնավությունը՝ կանխելով օքսիդացումն ու կոռոզիան, որոնք կարող են աստիճանաբար վատթարացնել ռետիկլները, եթե անվերահսկվող թողնվեն: Գիտական հետազոտությունները նույնպես աջակցում են այս մոտեցմանը՝ ցույց տալով, որ թղթի ճիշտ կառավարումը խոնավությունը հեռու է keepingհանձնում և երկարացնում է այդ կարևոր մասերի կյանքը։ Այն մասնագետները, ովքեր համապարփակ իմացում ունեն այս ոլորտում, առաջարկում են մի քանի լավ մաքուր թուղթ օգտագործել խոնավության վերահսկման համար։ Նրանք խոսում են այն մասին, թե ինչպես այն ճիշտ տեղադրել պահման տուփերի ներսում և հաճախ այն միասին են օգտագործում խոնավակլանիչների հետ։ Երբ ամեն ինչ ճիշտ է արվում, այդ բոլոր քայլերը ռետիկլները պահում են լավագույն վիճակում՝ ապահովելով ճշգրտությունը լուսային լիթոգրաֆիայի աշխատանքների համար։ Սա մեծ տարբերություն է անում կիսահաղորդիչների արտադրության ընթացքում, որտեղ համապարփակ համապարփակությունը ամենակարևորն է։

Տարածվող անունների հետ իոնային փոքրացում

Ինտեգրված սխեմաների համար նախատեսված տուփերում ամեն ինչ մաքուր պահելը շատ կարևոր է, եթե ցանկանում ենք կանխել այդ անցանկալի աղտոտումների ներթափանցումը: Թվում է, որ ճիշտ լուծումը կայանում է այդ հատուկ իոնային փոշի կուսակալ շերտերի կիրառման մեջ միջադիր սրվակների ներսում մաքուր թղթի հետ միասին: Երբ արտադրողները միասին կիրառում են այս պաշտպանությունները, նրանք իրոք ավելի լավ են կարողանում պաշտպանել փոշուց զգայուն մասերը փաթեթավորման ընթացքում: Դա հաստատվում է նաև իրական կյանքի օրինակներով: Որոշ գործարաններ տեղեկացրել են, որ այդպիսի սրվակներին անցնելուց հետո խնայվել է աղտոտման հետ կապված խնդիրների մեծ մասը: Մեկ առանձին հարթակում աղտոտման պատճառով անթերի արտադրանքի թիվը նվազել է մոտ 30%-ով, երբ սկսվել է այս երկկողմ մոտեցման կիրառումը: Իրականում սա բավականին տրամաբանական է, քանի որ մեծամասամբ որակի վերահսկման ցուցումները պահանջում են բավականին խստագույն մաքրության չափանիշներ փաթեթավորման և հավաքման գործընթացների ընթացքում: Այդ իսկ պատճառով այն ընկերությունները, որոնք կիրառում են այս մեթոդը, ավելի հաճախ դառնում են իրենց ոլորտի առաջատարներ:

Clean Paper for ESD-Sensitive Component Protection

Շարժման և վերաբերման ընթացքում էլեկտրաստատիկ պարպման զգայուն մասերի հետ աշխատելիս մաքուր թուղթը ցույց է տալիս, որ իսկական փրկություն է: Այդ նյութը կանգնեցնում է այդ անցական ESD իրադարձությունները, մինչև դրանք վնաս հասցնեն նուրբ մասերին և դրանց աշխատանքին: Շատ արտադրողներ հիմնական գործողությունների ընթացակարգերի մեջ ներառել են մաքուր թուղթը բավական պատճառներով: Բացի նրանից, որ այն հանդես է գալիս որպես պաշտպանական շերտ մասերի միջև, այն իրականում նվազեցնում է շփման հետևանքով առաջացած էլեկտրականացման առաջացումը: Իրական տվյալների վերլուծությունը նույնպես պարզ պատկեր է ցույց տալիս՝ շատ կայանքներ արդյունքների մեծ բարելավում են արձանագրել մաքուր թղթի մեթոդներին անցնելուց հետո, իսկ որոշ դեպքերում հաղորդվում է մոտ 40%-ով պակաս խնդիրներ էլեկտրաստատիկ վնասների հետ կապված: Այդ իսկ պատճառով էլ շատ տեխնոլոգիական ընկերություններ այսօր այս պարզ լուծումն անհրաժեշտ են համարում իրենց թանկարժեք սարքավորումների պահպանման համար տրանսպորտային և պահեստավորման պայմաններում:

Նորություններ կարգավոր թղթի տեխնոլոգիայում

Նանոթերթ հիմնված կարգավոր թղթի համար ավելի բարդ պարագայում

Նանոթելի տեխնոլոգիայի վերջին զարգացումները փոխում են մեր մտածելակերպը մաքուր թղթի արտադրության վերաբերյալ՝ ֆիլտրման հնարավորություններով, որոնք մաքրությունը բերում են նոր բարձունքների: Ինչն է այս տեխնոլոգիան այդքան հատուկ դարձնում: Այն թույլ է տալիս արտադրողներին թուղթ արտադրել՝ բռնելու համար այն մանրագույն մասնիկները, որոնք սովորական նյութերը ամբողջությամբ բաց են թողնում: Կարծեք այն տեղերի մասին, որտեղ նույնիսկ ամենափոքր աղտոտիչը կարևոր է՝ կիսահաղորդիչների գործարաններն են անմիջապես մտածելիքի մեջ: Ուսումնասիրությունները ցույց են տալիս, որ նանոթելերով արտադրված թուղթը կարող է բռնել գրեթե բոլոր մասնիկները, երբեմն հասնելով այդ արտասովոր ցուցանիշին՝ 99.99%: Այն ընկերությունների համար, որոնք աշխատում են ահագին մաքուր միջավայրերում, այս տեսակի արդյունավետությունը ոչ միայն լավն է, այլ անհրաժեշտ է: Քանի որ ավելի շատ ճյուղեր են ձգտում մաքուր գործընթացների, մենք տեսնում ենք, որ նանոթելի տեխնոլոգիան ավելի շատ է կարևոր դեր է խաղում տարբեր ոլորտներում դժվարացված չափանիշները բավարարելու գործում:

Վերակիրառելի նյութեր՝ կարևոր պահանջներին համապատասխանելու համար

Կիսահաղորդիչների ոլորտը կանաչ էներգետիկայի աճող ճնշման տակ է, իսկ վերամշակվող մաքուր թղթի նյութերը կարող են լինել այն պատասխանը, որի կարիքը ունեն բազմաթիվ ընկերություններ: Սովորական թղթի ապրանքներից անցումը այս ավելի մաքուր այլընտրանքների նշանակում է, որ ձեռնարկությունները իրականում մեծապես կրճատում են իրենց ազդեցությունը շրջակա միջավայրի վրա: Որոշ հետազոտություններ ցույց են տալիս, որ այս նոր նյութերի օգտագործման դեպքում ածխածնի արտանետումները և թափոնները մոտ մեկ երրորդով պակաս են, քան ստանդարտ տարբերակների դեպքում: Արտադրողների համար, ովքեր նայում են ապագային, այս էկոլոգիապես գիտակից մոտեցումների ընդունումը իրական արժեք է ներկայացնում: Դրանք բավարարում են այդ անհանգստացնող կանոնական պահանջներին՝ միևնույն ժամանակ ընկերություններին հնարավորություն տալով ասելու, որ նրանք իրենց մասնաբաժինը մոլորակի համար անում են: Այս տեսակի թղթի տեխնոլոգիաներում ներդրումներ կատարելը ոչ միայն լավ է շրջակա միջավայրի համար, այլև տնտեսապես իմաստ ունի, հատկապես այն դեպքում, երբ հաճախորդները ավելի մեծ իրազեկվածություն են ցուցաբերում ապրանքների ծագման և դրանց ազդեցության վերաբերյալ:

Հաճախ տրվող հարցեր

Դիցուք կLEAN արկածաների կարևորությունը կիսավորների մարդատարումում։

ԿLEAN արկածաները կարևոր են կիսավորների մարդատարումում՝ նրանում մասնակցելով կոնտամինացիայի նվազագույնացման համար։ Այն օգնում է պահպանել արտադրանքի ամբողջությունը և բարձրացնել արտադրության արդյունավետությունը՝ դրանց դեֆեկտներից խուսափելով։

Какие стандарты определяют чистую бумагу для использования в полупроводниковой промышленности?

Чистая бумага для использования в полупроводниковой промышленности определяется стандартами, такими как спецификации класса ISO, которые устанавливают допустимые уровни загрязнения для контролируемых сред.

Как чистая бумага способствует защите компонентов, чувствительных к ЭМИ?

Чистая бумага предотвращает события электростатического разряда, действуя как физический барьер и снижая статическую генерацию, основанную на трении, защищая целостность компонентов.

Какие инновации представлены в технологии чистой бумаги?

Инновации в технологии чистой бумаги включают нановолокно-основанную чистую бумагу для повышения чистоты и перерабатываемые материалы для удовлетворения потребностей в устойчивом развитии.