Амьдарчихуйгүй хавтаныг семикондуктор үйлдвэрлэлд ашигладаг

Хөрш бүтээгдэхүүний ашиглалтаар цэвэр хавтангийн стандарт тодорхойлох

Цэвэр цаасны стандартыг мэдэх нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ихээхэн чухал байдаг. Учир нь бохирдолын түвшинг бага байлгах нь үндсэн шаардлага юм. ISO ангиллын стандартууд нэвтэрч болохгүй орчинд ашиглагдах цэвэр цаасны хэмжээнд байж болох бохирдолын хэмжээг тогтоодог. Жишээлбэл, зарим үйлдвэрлэгчид тодорхой нэг хэмжээнээс дээш жижиг хэсгүүдийг агуулсан цаасыг лавлахыг ч үл тоомсорлодог. Эдгээр зааврууд нь цаасны цэврийн төрөл бүрийн ажлуудад ямар төрлийн цаас сонгохыг тодорхойлж өгдөг. Компаниуд эдгээр стандартыг нарийн дагаж боловч зөвхөн алдагдалтай гэмтлийг л өнгөөлөхгүй, мөн үйлдвэрлэлийн шугамыг материал гэнэтийн гэмтлээс урт хугацаанд тасралтгүй ажиллуулах боломжийг олгодог.

Цэвэр цаасны стандартыг баримтлах нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гаралтын хувьд бодит ялгааг оруулдаг. Салбарын ахлах инженерүүд эдгээр дүрмийг чанд баримтлах нь үйл явцыг илүү үр ашигтай болгодог гэж захин заагаад байдаг. Бохирдолын асуудал багасах үед дээжийн гаралт нь сайжирдаг бөгөөд энэ нь гологдол чипүүдийн тоог бууруулдаг. Чанарын жинхэнэ шалгалтыг давсан цэвэр цаасны материалыг ашиглах нь тухайн орчинд орж болохгүй бөөмсийг устгахын тулд маш чухал байдаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэгчид чанарын хяналтын асуудлыг шийдвэрлэхэд дутуу чанарын материалыг ашигласнаас үүдэлтэй зардал гардаг болохыг сайн мэддэг.

Чухал үзүүлэлт: Линт-гүй, хурдан хамгийн бага

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд бүтээгдэхүүний бүхэл бүтэн байдалд санамсаргүй нөлөөлөхгүйн тулд цэвэр цаас жинхэнэ утгаараа утасгүй байх ёстой. Ердийн цаас нь үйлдвэрийн талбайд хаа сайгүй тархдаг утаслагийг алддаг. Эдгээр жижиг утаслаг нь бүтээгдэхүүний найдвартай байдалд ихээхэн сөргөөр нөлөөлдөг. Үйлдвэрлэгчид цааснаас утаслаг ялгаруулахгүй бол ч цэвэрхэн өрөөнд орох боломжит бохирдолтыг бууруулдаг. Энэ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь маш цэвэр нөхцөл шаарддаг тул маш чухал юм. Микроскоп бөөмс ч чипний бүхэл бүтэн нэг багцыг муудмал болгодог тул энэ нарийн аж үйлдвэрт чанарын хяналтыг хангахын тулд цэвэрхэн өрөөнд байх нь маш чухал юм.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үед бага тооны жижиг хэсгүүд үүсэх нь гологдолын түвшинг бууруулахад томоохон үүрэг гүйцэтгэдэг. Олон судалгааны лабораториудын судалгаа нь үйлдвэрлэгчид цэвэр цаасан бүтээгдэхүүн рүү шилжихэд агаар дэх жижиг хэсгүүдийн тоо бодит байдал дээр буурдаг болохыг харуулжээ. Энэ нь дунджаар гологдолын тоог багасгадаг гэсэн үг юм. Мөн энэ нь олон үйлдвэрлэлийн талбайн тайван байдал цэвэршсэн талаар тайлангийн мэдээлэл баталж байна. Бохирдолын түвшин тодорхой байдлаар буурч, эмзэг хэрэгслийг хамгаалахад тусалдаг. Цэвэр цаас нь үйлдвэрийн талбай дээр бүх зүйлийг гладкийн шиг ажиллуулахад илүү сайн ажилладаг. Цэвэр цаас ашиглах практикийг эзэмшсэн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн талбайнууд нь ихэвчлэн жижиг хэсгүүдтэй холбоотой асуудлаас үүдэлтэй хүрээнийг багасгаж, гарцыг сайжруулдагаа дурддаг.

Цэвэр сургууль ажиллагаа: Тэмдэглэл болон мониторинг

100-р ангийн Цэвэр сургууль: Линт free газар дээрх тоног төхөөрөмжийн мэдээллийн тэмдэглэл

Класс 100-ын цэвэрхэн өрөөнүүд нь тоног төхөөрөмжийн мэдээллийг бүртгэхдээ суурь дүрэмтэй байдаг бөгөөд энэ нь нарийн бичиг хэрглэхэд зөвшөөрөлтэй цэвэр цаас ашиглахыг шаарддаг. Тусгайлан цахилгаан хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт чухал байдаг энэ төдий чинээ цэвэр орчинд энгийн цаас нь нарийн хэмжилтийг алдалтанд оруулдаг бохирдлыг авчрах тул цэвэр цаасны хувилбарт шилжих нь тийм чухал юм. Бодит амжилтын туршлага нь цэвэр цаас руу шилжих нь хяналт хийх магтаалтай нарийвчлалыг сайжруулж буйг харуулж байна. Хамгийн туршлагатай техникчид бүртгэлтэй ажиллах бүх үйл явцад цэвэр цаас ашиглахыг зөвлөдөг. Энгийн арга нь системд орж буй хэсгүүдийг багасгадаг бөгөөд нэмэлт хүчин чармайлтгүйгээр тогтоосон шаардлагыг хангахад тусалдаг.

Цахилгааны хавтан ашиглан хоолойн чанарыг хянах

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үед агаарын чанарыг хянах нь ихэвчлэн энгийн боловч үр дүнтэй зүйлд тулгуурладаг: жижиг хэсгүүдийг цуглуулахын тулд цэвэр цаас. Энэ энгийн хэрэгсэл нь чип үйлдвэрлэлд маш чухал байх цэвэрхэн өрөөнүүдийг барьж чаддаг. Тоголцоо эдгээр цаасуудыг ашиглах үед орчинд ямар хэмжээний бохирдол байгааг сайн тодорхойлж чаддаг. Судалгаанууд нь агаарын чанар сайжрах, жижиг хэсгүүдийн тоо буурах хоёрын холбоо байгааг тодорхой баталжээ. Бодит тоо мэдээлэл энэ талаарх баталгаа болгон ажиллаж байна - цаасан дээж авах аргыг нэвтрүүлсэн цэвэрхэн өрөөнүүдэд эргэн тойрон дахь нүхнүүдийн тоо аймаг буурдаг. Төрөл бүрийн нарийн электроникуудыг гэмтлээс хамгаалахад эдгээр цаасангуудын ач холбогдол маш их гэдгийг туршлагатай мэргэжилтнүүд мэддэг. Яг л аюулгүй байдлын үйлдвэрлэлийн процессыг микроскопын хэсгүүд эвдэрхий болгохыг хүсэхгүй хэн ч байхгүй юм.

Хавтастнуудын боловсруулалтын алхам: Зөвхөн хамгаалал

Дай-Аттач линий: Дай хавтастнуудыг хооронд нь чимэг шидэв газар тусгаарлах

Дай-бэхэлгээний үйл ажиллагаанд цэвэр цаас нь огтлосон вафлийг тусгаарлахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь тэдгээрийг гэмтээх эсвэл бохирдохоос сэргийлдэг. Хэрэв зохих байдлаар тусгаарлахгүй бол вафлууд хоорондоо урж, эсвэл бохирдлыг шингээж чанарыг нь алдагдуулж болно. Үйлдвэрлэгчид вафлийг боловсруулахдаа цэвэр цаасыг оруулан авбал вафлуудын хоорондох шууд хүрэлцээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн үед үлдэгдэл бохирдлыг багасгах боломжтой. Энэхүү аргыг хэрэглэсэн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд нь боловсруулалтын явцад вафлууд гэмтэх эсвэл бохирдохгүйгээр илүү сайн гаралт өгдөг. Цэвэр цаас нь электроникийн бүх шаардлагатай нарийн стандартыг хангахын тулд хагас дамжуулагчийн бүх үйлдвэрлэлийн явцад цэвэр байдалыг хадгалж байдаг. Гаждалгүй чанартай бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхийг эрмэлздэг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэгчдэд чанартай цэвэр цаас худалдан авах нь техникийн болон эдийн засгийн хувьд ашигтай байдаг.

CMP Лаб: Слurry Халдварын Шалгалаа Хамгийн ихдээ хамаарахгүй байдлаар шалгах

Цэвэр цаас нь химийн механик тэгшлэлтийн (CMP) лабораторид суспензийн үлдэгдлийг шалгах үед чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цаасгүйгээр туршилт явуулж болохгүй, эсрэг тохиолдолд сорилтын үед холимогдох эрсдэл үргэлж байдаг. Лабораторид цэвэр цаасны талаар стандарт ажиллагааг хөгжүүлсэн нь бусад бүхнээс бохирдлыг чөлөөлөхийн зэрэгцээ нарийвчлалтай үр дүнг авахад тусалдаг. Олон нөөцийн энэ аргыг байнга хэрэглэж эхэлснээс хойш бохирдлын асуудал багассан гэж мэдэгдэж байна. Чанар нь маш чухал байдаг хагас дамжуулагчийн хувьд зөв цаас хэрэглэж үлдэгдлийн түвшинг хянах, менежмент хийх боломжтой байдаг. Ийм учраас ихэнх туршлагатай техникчид CMP процессын өдөр тутмын ажилдаа чанартай цэвэр цаас ашиглахыг зөвлөж байна.

Зургийн фото литографи, Reticle-ийн ажил

Хазаас татсан чист пэйперийн дээшлэл

Цэвэр цаасыг ашиглан ретикулыг баглах нь түүнийг хөөсөөр хамгаалж, фотолитографийн ажлын үед өнгөрийн чанарыг өндөр түвшинд байлгахад тусалдаг. Эдгээр ретикул нь маш мэдрэг хэсгүүд юм. Хөөсөөр түүнийг ажиллагаа алдагдаж, загвар бий болгоход доголдол үүсгэж болно. Цэвэр цаас нь хөөс үүсгэх хүчилтэй урвалд ордоггүйгээр хамгаалдаг. Тодорхойлолтыг харвал энэ төрлийн цаас нь фотолитографийн ажлын үед хэрэглэгддэг ердийн бодисуудтай урвалд оролгүйгээр ретикулыг бохирдолоос хамгаалдаг тул чухал ажлуудад сайн ажилладаг. Бодит судалгааны үр дүнгээс харахад цэвэр цаас хэрэглэснээр компаниуд хөөсөөр бүрхэгдэхийг сайн урьдчилан сэргийлж чаддаг. Хагас дамжуулагчийн салбарт ажиллаж буй хүмүүст тодорхой оптик болон нарийвчлалтай загвар бий болгох нь зүгээр л сайн байдал биш, сайн үр дүн гаргахын тулд чухал шаардлага юм.

Ретиклүүдийн хадgalалтын бодлогод амьсгалыг бэлтгэх

Ретиклүүдийг хадгалах үед чийгийг хянах нь маш чухал бөгөөд цэвэр цаас нь эдгээрт хор хөнөөл учруулахаас хамгаалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цаас нь хэт чийгийг шингээж авч, ретиклүүдийн исэлдэлт, дээд таталтыг зогсоож өгдөг. Энэ нь хэрэв хянахгүй орхисон тохиолдолд ретиклүүдийг удаан хугацаагаар хэрэглэх боломжийг хязгаарладаг. Үнэндээ судалгааны үр дүнгээс харахад цаасны менежментийн зохистой арга нь чийглэгийг хянахад тусалж, эдгээр чухал хэсгүүдийн амьдралыг уртасгадаг нь батлагдсан байдаг. Талбайн мэргэжилтнүүдийн ихэнх нь чийгийг хянахын тулд цэвэр цаас ашиглахтай холбоотой зөв арга хэлбэрүүдийг санал болгодог. Тэд сав баглаа боодлын хайрцагт цаасыг зөв байрлуулах, мөн түүнийг харьцангуй хуурайшуулагчтай хамт ашиглах талаар ярьдаг. Бүгдийг зөв хийвэл ретиклүүдийг нарийн фотолитографийн ажлуудад бэлэн байдалд нь байлгах боломжтой болдог. Энэ нь бүтээгдэхүүнийг тогтвортой хийх шаардлагатай байгаа хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд маш их ялгаа гаргаж авдаг.

Ионийн өндөгтэй хооронд байрлуулж буй лотто

Хэрэв бид IC савлалтаар бүх загаснуудыг нэвтрэхээс сэргийлж байгаа бол юмсыг маш цэвэр байлгах нь маш чухал юм. Энэ нь хоорондоо давхар цаас ашиглан цэнэгт бөөмсийг тусгаарлах тусгай давхаргыг ашиглах явдал юм. Үйлдвэрлэгчид эдгээр хамгаалалтыг хамтад нь байрлуулах замаар жижиг хэсгүүдээс нь хол байлгахад илүү сайн үр дүнгээ өгдөг. Нэгэн бодит баталгаа нь эдгээр төрлийн давхаргатай цаасанд шилжсэнээр загасны дүрс багассан гэж зарим үйлдвэрүүд тайлангийн дүнд мэдээлсэн юм. Тухайн нэг үйлдвэр нь энэ хосолсон аргыг эхлүүлснээр бохирдолтой холбоотой гэм боловсрол 30%-иар буурсан байна. Үнэндээ энэ нь логиктой харагддаг, учир нь чанарын хяналтын зааварчилгааны ихэнх нь савлах болон угсрах үйл ажиллагаанд цэвэр байх чуналыг тавьж байдаг. Тиймээс энэ аргыг хэрэглэдэг компаниуд нь ихэвчлэн тэргүүлэгчид мэтээр ялгарч харагддаг.

ЭСД-р саналгүй байгууламжийг хамгаалах цэвэр газар

Электростатик цэнэгийн мэдрэг хэсгүүдийг тээвэрлэх, ашиглах үед цэвэр цаас нь бодит амь тавьдаг. Материал нь эд ангийн нарийн бөгөөд мэдрэг хэсгүүдэд халдлагын эх үүсвэр болох түгшүүлэгч ESD үйл явцыг зогтоодог. Ихэнх үйлдвэрлэгчид цэвэр цаасыг үйл ажиллагааны стандарт арга болгон авчээ. Цэвэр цаас нь зөвхөн эд ангиудын хооронд хамгаалах давхарга үүсгэхээс бус, хөдөлгөөний үед үрэлтээс үүдэлтэй статик цэнэгийг багасгадаг. Талбайн бодит үр дүнгээс харахад цэвэр цаас ашиглах аргыг сольсны дараа олон үйлдвэрүүд амжилт олсон бөгөөд цахилгаан цэнэгийн халдлагаас 40%-иар бага асуудалтай болсон гэж тайлагнажээ. Тиймээс олон техникийн компаниуд одоо цаасан хялбар шийдлийг өртөг ихтэй тоног төхөөрөмжийг тээвэрлэлт, хадгалалтын үед аюулгүй байлгахад чухал хэрэгсэл гэж үздэг.

Чимэгтэй гэрэлтүүлэгийн технологийн шинэчлэл

Нановолокны чимэгтэй гэрэлтүүлэг томъёогүй байдлыг сайжруулахад

Нано ширхэгийн технологийн сүүлийн үеийн хөгжил нь цэвэр цаас үйлдвэрлэх талаарх бодлыг өөрчилж байгаа бөгөөд шүүлтийн чадвар нь цэвэршилтийг шинэ өндөрт аваачиж байна. Энэ технологийг яагаад онцгой болгож байгаа вэ гэвэл үйлдвэрлэгчдэд жижиг хэсгүүдийг барьж чаддаг цаас үйлдвэрлэх боломжийг олгодог болохоор энгийн материалтай харьцуулахад бүрэн алдагддаг. Хамгийн бага бохирдлын хувьд чухал байдаг газруудыг бодож үз дээ - түүнд аж ахуйн нэгжүүдийг санаж болно. Нано ширхэг ашиглан үйлдвэрлэсэн цаас нь бүх хэсгийг барьж чаддаг бөгөөд заримдаа 99.99% хүртэлх үзүүлэлтэнд хүрдэг. Маш цэвэр орчин шаарддаг компанийн хувьд ийм ажиллагаа нь сайн байдал төдийгүй чухал шаардлага юм. Илүү олон салбарууд цэвэр процессыг шаардаж байгаа тул нано ширхэгийн технологи нь тэдгээрийн хатуу шаардлагыг олон салбарт хангахад байгаа чухал ач холбогдолтой болоод байна.

Буцаж ашиглах боломжтой материалууд нь эрдэнэ ухааны шаардлагаанд хариуцах

Хагас дамжуулагчийн салбарт ногоон шийдэл олох даралт өдөр ирэх тусам ихсэж байгаа бөгөөд цаасан материалыг дахин боловсруулах боломжтой цэвэр технологи нь олон компанийн шийдэл болох магадлалтай юм. Энгийн цаасан бүтээгдэхүүнээс энэ төрлийн цэвэр солих шийдэл рүү шилжүүлэх нь пүүсүүдийн орчин тойронд үзүүлэх нөлөөг огцом бууруулдаг. Зарим судалгаагаар эдгээр шинэ материалыг ашиглах нь стандарт сонголтуудтай харьцуулахад нэг гуравны бага нүүрстөрөгчийн ялгаралт, хаягдал үүсдэг байна. Үйлдвэрлэгчдийн хувьд ийм экологийн баримт биелүүлэх нь бодит ашиг оноо бүрдүүлэх боломжтой юм. Энэ нь зөрчилдөөт дүрэм журмыг хангаж чадахгүй байгаа хэрэглэгчдийг хангадаг, мөн пүүсүүд өөрсдийнх нь газар дэлхийг хамгаалахад оролцож байгаагаа мэдэгдэх боломжийг олгодог. Ийм төрлийн цаасан технологид хөрөнгө оруулах нь зөвхөн орчин тойронд тустай биш, бизнесийн хувьд ч ашигтай юм. Тусгайлан хэрэглэгчид бүтээгдэхүүний гарал үүсэл, тэдгээрийн орчин тойронд үзүүлэх нөлөөгөөр илүү ойлголттой болоод байна.

Ихэнх асуултууд

Чимэглэлийн газар зөвшөөрөгдөх ёстой хэрэгтэй вэ семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлд?

Чимэглэлийн газар зөвшөөрөгдөх нь семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлд контаминацийг багасгахад их хувь авдаг учраас анх маань чухал байдаг. Энэ нь үйлдвэрлэлийн үнэтэйг хадgalгаar, үйл ажиллагааг ихэвчлэн бууруулдаг.

Семикондукторын ашигладаг чимэглэг дэх хавсралтыг ямар стандартууд тодорхойлдог вэ?

Семикондукторын ашигладаг чимэглэг дэх хавсралт нь ISO классын спецификацийн санал зүйлсээр тодорхойлогддог, энэ нь хяналттай орчинд байгаа удаан байдлын татсан хэмжээнүүдийг тодорхойлдог.

Чимэглэг дэх хавсралт ESD-той холбоотой хамгаалалтын компонентүүдэд яаж хөгжүүлдэг вэ?

Чимэглэг дэх хавсралт нь физик хувилбар болон цэвэрлэх үйлдлийн буурвалтыг бууруулж, компонентүүдийн бүтэцний илүү хамгаалалтыг хангахад тусалдаг.

Чимэглэг дэх хавсралтын технологид ямар шинэчлэл байдаг вэ?

Чимэглэг дэх хавсралтын технологид нановолокноос бүрдсэн чимэглэг дэх хавсралт, энэ нь чистийн түвшинг нэмэгдүүлэх болон эрчимтэй материалуудыг ашиглахад шинэчлэл хөгжүүлсэн.